фоторезист


фоторезист
fotorezistas statusas T sritis chemija apibrėžtis Elektromagnetinei spinduliuotei jautri fotolitografinė medžiaga. atitikmenys: angl. photoresist rus. фоторезист

Chemijos terminų aiškinamasis žodynas – 2-asis patais. ir papild. leid. – Vilnius: Mokslo ir enciklopedijų leidybos institutas. . 2003.